相位臺(tái)

小型旋轉(zhuǎn)臺(tái)

1.采用了劃時(shí)代性模組結(jié)構(gòu)的超薄型平臺(tái)

在底座、工作臺(tái)之間裝上組合了滑臺(tái)組和特殊交叉滾柱軸承，實(shí)現(xiàn)了超薄型結(jié)構(gòu)。

2. 高剛性、高精度

高品質(zhì)精磨級(jí)滾珠絲杠驅(qū)動(dòng)，小導(dǎo)程，相同細(xì)分可達(dá)到高的分辨率級(jí)高的重復(fù)定位精度。

3. 超薄型、輕量化、中空結(jié)構(gòu)

中空結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),可作為光學(xué)式檢查裝置或?qū)y(cè)試器使用

4 .潤(rùn)滑系統(tǒng)

在各種運(yùn)動(dòng)軌道加入潤(rùn)滑系統(tǒng)，提高對(duì)位平臺(tái)使用的壽命及精度。

5. 產(chǎn)品整體機(jī)構(gòu)薄且輕，內(nèi)部結(jié)構(gòu)緊湊，可實(shí)現(xiàn)同時(shí)進(jìn)行X軸的平移、Y軸的平移、Z軸的旋轉(zhuǎn)。可實(shí)現(xiàn)任意位置再運(yùn)動(dòng)。

6. 材料皆經(jīng)超深冷處理,有效預(yù)防變型,大幅提升使用壽命

產(chǎn)品應(yīng)用：

1. 面板貼膜

2. 3D網(wǎng)版印刷

3.玻璃側(cè)角及磨邊設(shè)備

4. Wafe對(duì)位設(shè)備

5. P.C.D曝光設(shè)備

6. 軟體裁切設(shè)備

7. 半導(dǎo)體設(shè)備