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旋轉(zhuǎn)臺振幅(Amplitude):
振動物體離開平衡位置的最大距離叫振動的振幅。
振幅在數(shù)值上等于最大位移的大小。對于光學平臺系統(tǒng),臺面受外力作用時,離開平衡位置的最大距離,同光學平臺系統(tǒng)的結構、受力大小、受力的位置、瞬時加速度、速度、持續(xù)時間、臺面的剛性、隔振系統(tǒng)的阻尼比等諸多因素有著非常復雜的非線性函數(shù)關系,如果標稱振幅的具體指標,需要注明上述特定的實驗條件,否則振幅的指標,變得沒有意義。對于阻尼隔振的光學平臺,振幅通常在微米量級,而氣浮式隔振平臺,振幅通常為毫米量級甚至是厘米量級。國外廠商的光學平臺并未標稱光學平臺振幅的指標。
表面粗糙度(Surface Roughness):
有部分廠家,在光學平臺的指標中,標稱表面粗糙度的概念,往往存在一些誤導。國家標準GB/T3505-2000 中規(guī)定了評定表面粗糙度的各種參數(shù),其中常用的是輪廓算術平均偏差Ra。輪廓算術平均偏差Ra 是指在取樣長度內(nèi),沿測量方向(z 方向) 的輪廓線上的點與基準線之間距離絕對值的算術平均值。
若只標稱Ra 的數(shù)值,但并未公布取樣長度,這樣的數(shù)值標稱變得毫無意義,而且有誤導消費者的可能。比如說,標稱表面粗糙度為:0.5 ~ 0.8μm,但若取樣長度分別為10mm、1mm 和0.1mm,實際上表面粗糙度的差別可達百倍!根據(jù)GB1031 的推薦值:取樣長度若取0.25mm 時,精密及超精密加工表面的表面粗糙度Ra > 0.02 ~ 0.1μm ;當取樣長度取0.8mm 時,普通精加工表面Ra > 0.1 ~ 2μm。
根據(jù)上述說明,取樣長度為0.8mm,表面粗糙度為0.5 ~ 0.8μm 時,表面加工精度屬于一般水平。光學平臺,表面粗糙度實測指標均符合GB1031 中推薦標準。
另外,表面粗糙度通常是評定(小型)零件表面質(zhì)量的指標,屬于微觀幾何形狀誤差。加工表面的粗糙度是加工過程中多種因素( 機床刀具工件系統(tǒng)、加工方法、切削用量、冷卻潤滑液) 共同作用的結果。這些因素的作用過程相當復雜,而且是不斷變化的。
所以用不同加工方法或在同樣加工方法、同樣加工條件下加工出來的同一批零件,不同表面不同部位其粗糙度值也不完全相同。而且同上面介紹的平面度概念一樣,它同光學平臺的隔振效果沒有關系,國外廠商的光學平臺并未標稱表面粗糙度的指標。